作者	苑伟政
出版社
出版时间	2000-08-01

特色：

微机械是80年代末出现的一门崭新的学科，被誉为21世纪*具代表性的技术之一。本书共分8章，结合作者近年来的研究工作，系统地介绍了微机械学科的起源、发展过程及当前国内外该学科的研究内容与成果，内容包括微机械理论基础、微机械材料与微结构，微细加工技术、准分子激光微细加工技术、微检测技术、同传感器、微致动器臁其它微器件、典型微型电子机械系统与微机器械人等等。本书可供从事微机械研究的科技人员使用，也可供相关学科的师生参考。