作者	莫锦秋
出版社
出版时间	2004-03-01

特色：

本书主要从普及的角度介绍微机电系统及其相关技术，全书共分为12章，分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术等进行了深入浅出的介绍。