微机电系统(MEMS)具有体积小、成本低、易于集成和批量生产等优点，在信息、军事、医疗、汽车、航天等领域有广泛的应用。近年来，随着纳米材料和结构研究的深入，将纳米材料、纳米结构和纳米加工与MEMS相结合，形成了一个新的研究方向纳机电系统（NEMS）。本书通过涉及物理、化学、生物、材料、电子、机械等多门学科，讲述了利用纳米材料/结构表现出的独特的力、电、热、光、磁等性能进行新型纳传感器件的研究逐渐成为NEMS研究的一个热点。从纳米材料的新效应和新性质出发，可以实现新功能或突破常规器件的性能极限，实现具有新原理或高性能（如高灵敏度、低功耗、低噪声）的纳米器件和系统。