半导体器件物理与工艺

作者(美)施敏 (Sze, S.M.) 著
出版社
出版时间2002-12-01

特色:

本书主要介绍了现代半导体器件的物理原理、集成电路的工作原理及制作的工艺技术,全书共有三个部分、十四章,有十二个附录。

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