作者：
出版社： 东南大学出版社
CIP号：2017166549
书号：978-7-5641-7263-3
出版地：南京
出版时间：2017.7
定价：￥85
本书是目前国内外唯一叙述微机电系统（MEMS）系统级建模的专著。MEMS技术的发展对快速、高效及合适的设计工具提出了迫切的需求，以便优化包括MEMS元件、控制、读出电路以及封装在内的完整系统性能。针对系统设计及优化需求，本书分5部分全面论述了MEMS系统级建模技术。