作者：马宏等编著
出版社： 兵器工业出版社
CIP号：2016050187
书号：978-7-5181-0206-8
出版地：北京
出版时间：2016.4
定价：￥39
本书主要介绍精密刻划技术、超精密加工技术和超精密测试技术。全书共分11章，分别介绍了精密刻划技术与超精密加工技术、分划的机械制作方法与设备、光学光刻技术、非光学光刻技术、刻蚀技术、微透镜及其阵列制造技术、光栅和光学码盘的制造技术、光学复制技术、分划零件的检验技术、超精密特种加工技术、超精密测试技术等内容。