MEMS传感器技术

MEMS传感器技术

作者:

出版社: 吉林大学出版社

CIP号:2015214741

书号:978-7-5677-4629-9

出版地:长春

出版时间:2015.8

定价:¥38.0


简介

本书结合国内外物联网发展的历史、现状和未来趋势以及传感器的基本原理和类型,对新兴的MEMS传感器技术进行了系统的介绍。全书共7章,内容包括物联网的起源、形成、基本构成及应用前景,传感器的基本原理、类型和应用范围,MEMS传感器和MEMS智能传感器的概念、加工工艺、分类、产业化方向以及若干常见的应用案例等。本书内容宽泛,可作为物联网行业从业人员以及MEMS传感器市场分析研究人员的入门参考书,也可供在校学生以及对物联网和传感器感兴趣的人员参考。

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