作者：
出版社： 清华大学出版社
CIP号：2018272627
书号：978-7-302-51757-3
出版地：北京
出版时间：2018.
定价：￥45.0
本书系统介绍组成微系统的基本微结构、功能单元和典型器件的设计，包括薄层、弹性元件（如膜片、微梁）、应变和位移的检测单元、电阻和电容的测量电路、静电驱动力、压电效应、毛细管力、微流体控制单元、微传感器、微执行器等，并附大量的设计计算练习题。