三维结构MOS晶体管技术研究

作者张盛东
出版社
出版时间2005-09-01

特色:

本书汇集了作者在三维结构MOS晶体管技术研究方面所取得的主要研究成果。内容涉及背栅、平面双栅、可分离双栅MOS以及三维集成MOS器件。

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