作者	黄如
出版社
出版时间	2005-10-01

特色：

本书从材料、器件、工艺和电路角度系统的介绍了SOI CMOS技术。从SOI材料的主要制备技术以及表征技术开始，详细分析和阐述SOI MOS器件的主要基本特性和物理效应，从定量分析的角度介绍器件的理论模型。本书涵盖了SOI CMOS技术的基本知识和*新进展。