作者	刘晓明
出版社
出版时间	2006-01-01

特色：
本书概要地介绍MEMS的设计与制造，针对非微电子专业的高年级本科生和研究生学习MEMS技术之用。通过对本书的学习，使读者能够在集成电路制造技术方面，获得必要的知识，同时对MEMS的设计与制造有一个比较完整的了解，为开展MEMS的研究奠定必要的基础。

本书概要地介绍MEMS的设计与制造，全书共分7章，内容包括MEMS的概论，MEMS的设计，集成电路基本制造技术，MEMS的制造技术微传感器等。