作者：
出版社： 科学出版社
CIP号：2019206809
书号：978-7-03-062359-1
出版地：北京
出版时间：2019.10
定价：￥48.0
本书试图以产业发展主流工艺为导向，侧重原理和产业应用实际相结合技术介绍，尽量了避免冗长深奥的物理和化学公式和原理推导。定性地对芯片生产制造工艺中的关键单项工艺进行描述，并在单项工艺角色介绍后，解释了具有复杂系统工程特点的工艺集成技术难点。重点介绍了芯片制造工艺中存在的五个主要挑战和可能的解决途径。最后讨论了芯片制造工艺产业链生态链的依赖关系。给读者一个大生产中芯片制造的概况了解，读者可以针对自己的兴趣进一步阅读学习相关文献，了解工艺环节中的细节，从而能得以深造。