作者：邱丽芳, 谢仲添主编
出版社： 冶金工业出版社
CIP号：2019027710
书号：978-7-5024-8015-8
出版地：北京
出版时间：2019.1
定价：￥31.0
本教材系统介绍微机电系统的基本知识、微机电系统的组成、微机电系统的材料、微机电系统的加工、微机电系统的设计及测试，重点介绍适合于微机电系统的柔顺机构的设计。本书主要读者为高等院校机械类专业本科生，也可为相关专业本科生和研究生提供参考。