作者：郭永辉著
出版社： 江西高校出版社
CIP号：2015167842
书号：978-7-5493-3582-4
出版地：南昌
出版时间：2015.7
定价：￥32.0
全书共分4篇12章，第一篇为绪论，包括第1-3章，分别介绍半导体制造工艺、特性分析、国内外研究综述。第二篇为半导体复杂制造系统建模及评价，包括第4-6章，主要基于IDEF0和Petri网构建了整合式生产控制系统，构建了产能绩效指标和生产绩效指标，并提出评价方法。第三篇为半导体复杂制造系统产能规划，包括第7-9章，主要针对半导体单厂、多厂和供应链产能规划构建数学规划模型并求解分析。第四篇为半导体复杂制造系统优化与控制，包括第10-12章，主要以半导体制造系统的生产线平衡为研究对象，从作业计划、投料和调度三个方面进行优化研究。