作者	姜岩峰
出版社
出版时间	2006-03-01

特色：
本书介绍了微电子机械系统(MEMS)相关的基础知识、主要工艺和器件结构等方面内容，对该领域的热点研究问题进行了探讨。主要内容分为五个部分，首先讲述了MEMS的相关力学量测量方法，然后介绍了MEMS中的主要工艺，在此基础上，系统介绍了MEMS系统中的传感器，包括传感器的原理、结构和实现方法，另外对MEMS器件的使用方法和应用范围进行了讨论，*后阐述了MEMS系统仿真方面的内容。　　本书适合于高等院校微电子专业本科生或研究生教学参考使用，也可供从事MEMS领域研究的科技人员参考。

本书系统介绍了微电子机械系统(MEMS)相关的基础知识、主要工艺和器件结构等方面内容，对该领域的热点研究问题进行了探讨。内容包括MEMS系统简介、MEMS相关力学知识及测量力学量的方法、MEMS中主要工艺、传感器、MEMS器件的应用以及MEMS器件的仿真和计算机辅助设计等。全书内容丰富，讲解通俗易懂，具有很强的可读性。