作者：王喆垚编著
出版社： 清华大学出版社
CIP号：2015017993
书号：978-7-302-39167-8
出版地：北京
出版时间：2015.12
定价：￥50.0
本书包括微系统设计基础理论、微型传感器、微型执行器、RF MEMS、光学MEMS、BioMEMS和微流体等内容。本书强调设计与制造相结合，在以基础理论为基础的同时，深入介绍微系统制造工艺和典型器件的制造方法。本书强调前沿与基础相结合，全书贯穿多个典型实例的分析、设计和制造方法，并针对教学与研究中的噪声、器件等前沿问题进行深入介绍。本书较为全面地介绍微系统的重点和前沿领域，力争展示微系统的全貌。