作者：
出版社： 中国大地出版社
CIP号：2019000079
书号：978-7-5200-0274-5
出版地：北京
出版时间：2018.12
定价：￥48.0
本《集成电路工艺基础仿真实验指导书》以河北大学电子科学与技术实验室的设备和实验条件为硬件原型，给出二极管的制备工艺流程，包括基本工艺原理，使用的设备介绍，具体的工艺流程和详细的工艺条件、操作方法及测试检测方法等。