作者：
出版社： 北京大学出版社
CIP号：2016216423
书号：978-7-301-27517-7
出版地：北京
出版时间：2016.1
定价：￥91
本书作为金属有机物气相外延（OMVPE或MOCVD）基础理论和应用实践方面的教学参考书，适用于材料物理，材料化学和电子专业的本科生和研究生。同时也适合作为OMVPE生产和研发人员的工具书。本书第一章首先总揽了OMVPE的生长过程，并和其他的外延工艺做细致的比较。第二到第六章则分别论述了OMVPE生长的各个方面：热力学（第二章），表面物理过程（第三章），反应源（第四章），动力学（第五章）以及流体力学和质量输运（第六章）。