作者：
出版社： 国防工业出版社
CIP号：2016118011
书号：978-7-118-10543-8
出版地：北京
出版时间：2016.6
定价：￥120
第1章和第2章是介绍多晶圆旋转机器的基础。第3章讨论了材料、结构、和封装。第4章主要讲述与硅相关的制造。第5章侧重于电镀磁性元件，如线圈和磁芯，形成一个硅的上层构造。第6章介绍了超高速空气轴承的研究进展。第7章介绍了热流体和涡轮机的研究工作。第8章介绍了MEMS发电机的工作原理。第9章重点介绍了MEMS的尺度燃烧。