作者：李爱东编著
出版社： 科学出版社
CIP号：2016114995
书号：978-7-03-048375-1
出版地：北京
出版时间：2016.6
定价：￥98
本书是面向从事材料合成与制备领域的科研工作者、工程技术人员和研究生（高年级本科生）介绍原子层沉积技术－原理及其应用，分为十一章，既有原子层沉积的发展历史、基本原理、特点和种类，又涉及原子层沉积的前驱体和生长材料，也包含了原子层沉积的理论模拟和等离子增强的原子层沉积技术，最后又着重突出了原子层沉积在不同领域的应用。