作者:汪洋著
出版社: 国防工业出版社
CIP号:2016315221
书号:978-7-118-10568-1
出版地:北京
出版时间:2016.12
定价:¥33
本书共8章,内容包括变压吸附制氧概述、真空变压吸附制氧原理与流程、薄膜生长、薄膜结构和组份、薄膜表面科学基础、薄膜性能表征以及薄膜应用等内容。本书从材料的角度深入诠释了薄膜的各种制备方法、薄膜的性能、结构,适用面非常广。