作者：
出版社： 科学出版社
CIP号：2018038083
书号：978-7-03-056641-6
出版地：北京
出版时间：2018.2
定价：￥98
基于MEMS技术的电容式微机械超声传感器（CapacitiveMicromachinedUltrasonicTransducer，CMUT）具有传统压电超声传感器所不具备的显著优势，有望替代传统压电超声传感器成为市场的主流产品。针对电容式微机械超声传感器开展相关理论与应用基础研究，具有十分重要的研究价值和现实意义。