作者	张通和，吴瑜光 编著
出版社
出版时间	2005-10-25

特色：

本书内容主要包括离子束注入技术、离子束增强沉积技术、磁过滤离子束沉积技术、全方位离子注入技术、强脉冲离子束材料改性技术和离子束创建新型制膜工程等。