本书涵盖了表面微观形貌测量的主要设计理论，对微观形貌的光学测量方法——相移干涉显微测量技术，展开了全面、系统的理论与实验研究论述。针对相移干涉算法，即相位提取算法和相位去包裹算法的理论进行了系统的阐述。在干涉显微镜的基础上，应用新提出和发展的算法编制的软件，进行了被测物体的相位计算以及截断位相的整体恢复，进一步提高了微观表面形貌的测量精度和测量可靠性、提高了测量系统的整体性能指标。对测量过程中出现的相位截断现象，应用传统相位去包裹法解决了原理包裹问题。应用算法解决了噪声包裹导致的相位突跳，恢复了物体表面形貌的连续性和真实性，并对算法进行了计算机模拟验证，证明了它们对现实物体处理的有效性。建立了微分相衬干涉显微测量系统；应用测试软件、多个算法软件及多组数据处理软件，分析并解决了微观表面形貌测量中存在的一些技术难题；对测量系统进行了详细的误差分析。本书对微观形貌测量的知识点进行了精心编排和必要的精简取舍，突出特色，适用于测控技术与仪器专业及光学工程专业本科生、研究生及科研人员参考。助力人们掌握相关的形貌测量方法，并能用于解决测控技术与仪器及光学工程研制方面的复杂过程问题。