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中国材料工程大典 第11卷 信息功能材料工程(上)
作者
王占国、陈立泉、屠海令主
出版社
出版时间
2006-05-25
特色:
本书主要内容包括半导体硅材料、集成电路制造技术、硅基异质结构材料和器件、化合物半导体材料、宽带隙半导体及其应用。
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