作者：
出版社： 机械工业出版社
CIP号：2020037651
书号：978-7-111-64958-8
出版地：北京
出版时间：2020.5
定价：￥99.0
本书共19章，分为两大部分：第1～9章为技术部分，讨论各类新型微机电系统（MEMS）器件；第10～19章属应用部分，详细阐述以MENS为基础的各种新颖的应用。本书各章都具有完整性，既可以单独阅读，也可与其他章节连贯阅读。