作者	张文栋
出版社
出版时间	2006-01-01

特色：

本书介绍了微光机电系统的国内外发展状况，微器件的结构设计与仿真，常用的微制造技术；重点介绍了各种MOEMS器件，包括微力学器件、RF微器件、微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。