在Silvaco的软件中，'an1'和'an2'通常是指模拟过程中的两个关键参数。'an1'通常代表模拟的最低温度，而'an2'通常代表模拟的最高温度。这两个参数用于定义模拟的范围和准确性。具体含义可能会根据所使用的模拟方法和模型而有所不同，因此建议查阅Silvaco的文档或相关资料以获取更准确的信息。