多晶硅冶炼烟气脱硝工艺推荐使用选择性催化还原法（SCR）和选择性非催化还原法（SNCR）两种技术。

SCR工艺主要是通过在多晶硅生产过程中产生的烟气与氨气反应，从而消除氮氧化物。SCR系统主要包含：催化剂、反应器、控制系统、氨气供应系统、稀释风机及烟道等。催化剂是SCR脱硝的核心，对于多晶硅冶炼烟气来说，通常选择对钛基或铁基催化剂。

SNCR工艺则不需要催化剂，直接通过800-850℃的高温将氮氧化物还原为无污染气体。这种方法在多晶硅行业应用也比较多，其优点是投资少、建设周期短、操作简单。缺点是SNCR脱硝效率受锅炉温度影响大，如果温度控制不均匀，会造成部分氮氧化物不能有效去除而排放到大气中。

同时，建议在选择工艺前对多晶硅厂进行详细考察，确保所选工艺适合该厂的情况。这只是一个推荐，具体的工艺选择还需要根据实际情况进行评估和选择。