作者	(美)徐泰然 著，王晓浩等 译
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本书提供了对MEMS技术基础的深入观察，涉及MEMS的力学、物理和材料科学基础，讲解了微系统工程的基本原理，列举了MEMS及其在制造、通信、生物工程、运输和其他领域的应用。适合于大学毕业班、低年级研究生及机械、电子、制造、生物医学和航空航天领域的工程师。·内容覆盖MEMS的机电特征和微加工工艺。·介绍MEMS器件的加工、制造和封装·提供实际的设计流程，介绍工程师如何计划和制作新的MEMS器件和微系统及微系统的CAD技术·大量例题和问题，帮助学习。

微系统近年来迅速发展，在航天、汽车、生物技术、消费产品、国防、环境保护和安全、保障、制药，以及远程通信工业等方面都有广泛的应用。本书对MEMS技术的基础进行了深入的观察，共分11章，介绍了微系统工程的发展，市场，产品，微系统所涉及的各工程学科的基础知识、尺度效应、微系统工程的材料、微制造和微加工工艺及微系统的设计和封装等内容。 本书可作为本科生或研究生课程的教材，还可以作为专业人士及相关人员了解MEMS参考书。