特色：光学MEMS是MEMS中的热门领域，也是MEMS的重要发展方向之一。本书系统论述了光学MEMS和微机械光子学，书中阐述了此领域的理论及实验结构，并且介绍了多种器件及其应用。内容涉及激光二极管、共振传感器、光镊子等多种器件，*后，对微机械光子学的未来发展做了展望。本书内容丰富，系统阐述了光学MEMS，可供从事此领域的学生及工程技术人员参考。