作者	田斯华
出版社
出版时间	1998-10-01

特色：

本书内容包括：集成电路是怎样制造出来的、集成电路制造工厂、从硅砂到硅单晶、从单晶柱到抛光片、掺杂技术(扩散与离子注入)、氧化技术等。