作者	陈松
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出版时间	暂无

特色：

本书介绍了有关半导体晶圆工艺、MEMS、纳米技术和平面显示器的*新信息，以及*先进的生产和自动化技术；包括良品率管理、材料自动运送系统、晶圆厂和洁净室的设计和运营管理、气体去除和废物处理管理等内容。