作者：
出版社： 郑州大学出版社
CIP号：2017305335
书号：978-7-5645-5042-4
出版地：郑州
出版时间：2017.12
定价：￥36
本书详细介绍了微机械压力传感器的研究发展历史、力学基础、常用材料及相关的微机械加工技术，并重点介绍了微机械压阻传感器、微机械电容传感器、微机械压电传感器、光学传感器及其应用，以及微机械压力传感器的关键技术——封装技术等。可供相关的科研人员和工程技术人员参考。