作者	Stephen A.Campbell
出版社
出版时间	2003-01-01

特色：

本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气象外延生长、溅射和化学气相淀积等。