作者	森图里亚
出版社
出版时间	2004-11-01

特色：
本书将多学科的基础知识有机联系起来，带领大家进入微系统设计世界。这些知识是工作在MEMS领域的工程师所必不可少的。 全书涉及的主题范围广泛，包括：微加工技术、机械学、热流理论、电子学、噪声、带反馈或不带反馈的系统动力学等。因为很难简要地阐明“优良”设计的基本原理，本书以提供一组实例研究的方式进行组织，这些实例研究或者基于真实的产品，或者基于已发表在文献中的产品原型。 实例研究的选择范围是那些具有多方面代表性的范例：不同的加工制作方法，不同的应用领域，在换能方式上运用不同的物理效应。实例研究的主要对象是下列器件的设计与封装：压阻式压力传感器、电容式加速度计、利用石项压电驱动与感测的陀螺仪、两种静电致动光投影显示器、两种DNA扩增微系统以及一种用于可烯气体测量的催化传感器。 本书是麻省理工学院研究生课程“微机电系统设计与制作”的教材，适合高年级本科生和研究生学习MEMS使用，也可作为MEMS专业人士的参考书。 **章都含有家庭作业和相关阅读文献作为教材的补充。本书还有一个专门的Web网站对其提供支持，其上放有更多的家庭作业、练习和一些推荐的设计习题，以及一些有关本书例题、家庭作业习题方面的教学资料。

本书是美国麻省理工学院（MIT）Senturia 教授根据自己在MIT电子工程系所讲授的课程的基础上进行扩展而编写的研究生教材，已经被美国10多所大学采用（包括斯坦福等著名大学）。本书系统全面地介绍了涉及微机电系统（MEMS）设计的方法、理论和技术，包括MEMS制作工艺和封装技术、MEMS器件的建模和模拟、相关电子线路与系统。全书详细地介绍了利用集总参数方法、弹性力学和结构力学方法、能量分析法对MEMS器件进行建模、模拟和分析的方法；同时对微系统设计所涉及的能量耗散问题和流体力学系统、电路、噪声和封装问题等进行了分析和介绍。通过应用实例研究，详细介绍了压阻式压力传感器、电容式加速度计、静电投影显示器、压电速率陀螺仪、DNA扩增芯片和气体传感器等器件和系统的设计和制作。 全书结构新颖、特点鲜明、内容丰富，能满足来自不同专业面向MEMS研究领域的研究生的需要。同时，对于相关领域的科研、工程技术人员和教师来说，也不失为一本很有价值的参考书。