特色：
本书是“电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著”中的一个分册。它与已出版的《电子束曝光微纳加工技术》一书相辅相成，重点讲述微纳加工中的关键部件——精密工件台的结构、原理和主要技术，以及通过精密工件台提高加工精度和生产效率的有效方法。全书分为九章。**章讲述精密工件台的组成、发展现状和主要技术指标。第二章至第五章系统介绍精密测量技术、驱动技术、直线导向技术的工作原理、技术特点和选用准则。第六章通过实例阐明微位移技术的原理及结构特点。第七章和第八章讲述精密工件台的控制系统、精度分析及精度补偿方法。第九章主要介绍精密工件台在微电子产业、精密测量、生物芯片技术、纳米表面形貌测量和纳米加工设备中的具体应用和发展前景。在当前微纳加工技术迅猛发展和相关专著及技术图书十分匮乏的情况下，本书的出版对促进我国微纳加工技术的研发工作必将起到积极的作用。