作者	张爱红
出版社
出版时间	2003-06-01

特色：

本书由半导体物理、半导体器件、半导体与集成电路工艺、集成电路设计、微电子机械系统和科技文献范例六部分组成。全书涵盖了微电子技术领域的基本内容，同时又介绍了该领域的一些较新的发展。