作者	赵玉清
出版社
出版时间	2002-03-01

特色：

本书对有关电子束离子束的产生、引出、加速和偏转和工作原理，物理过程和主要部件进行了介绍，带电粒子束与固体表面相互作用的原理和产生的结果，以及电子束离子束技术在微电子领域的部分应用，*后介绍了*近几年发展十分迅速的、与纳米技术息息相关的扫描隧道