作者	（美）瓦达
出版社
出版时间	2005-11-01

特色：

本书主要内容包括：微机电系统和射频、MEMS材料和制造工艺、RF开关与微型继电器、MEMS电感和电容、微电机RF滤波器、微机械移相器、微机械传输线及部件、微机械天线、RF MEMS的集成与封装。 本书可供从事微制造技术的人员阅读，也可作为相关专业人员的参考用书。