作者：
出版社： 东北林业大学出版社
CIP号：2019135980
书号：978-7-5674-1823-3
出版地：哈尔滨
出版时间：2019.6
定价：￥30.0
本书针对高功率脉冲磁控溅射技术（HIPIMS）存在的电子利用效率差和沉积速率低的问题，提出了一种电-磁场协同增强高功率脉冲磁控放电的高效、高离化率、高沉积速率新技术。利用辅助阳极来调控真空室内电场/电势分布；磁场增强HIPIMS放电等离子体特性研究；电-磁场协同增强HIPIMS放电等离子体特性研究以及电-磁场协同增强HIPIMS制备钒膜的结构及性能研究等。