长脉冲激光对单晶硅的损伤机制仿真研究

《长脉冲激光对单晶硅的损伤机制仿真研究》

作者:

出版社: 东北师范大学出版社

CIP号:2019098855

书号:978-7-5681-5861-9

出版地:长春

出版时间:2019.5

定价:¥36.0


简介

本书是对长脉冲激光损伤单晶硅的全过程进行分阶段建立热-应力、熔蚀、燃烧波理论模型。在理论模型的基础上,建立长脉冲激光损伤单晶硅的热-应力仿真模型、熔蚀仿真模型和激光支持燃烧波仿真模型,激光工作方式为单脉冲和脉冲串两种。构建长脉冲激光损伤单晶硅的温度测量系统、应力在线测量系统,燃烧波运动形态测量系统。实验与仿真研究结果对比,两方面研究结果的规律基本一致,仿真模型可以合理的描述长脉冲激光损伤单晶硅的过程。

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