作者：郭佳俊, 杨凯著
出版社： 延边大学出版社
CIP号：2019110505
书号：978-7-5688-6983-6
出版地：延吉
出版时间：2019.5
定价：￥35.0
本学术专著以实际应用为出发点，对集成电路制造的主流工艺技术进行了逐一介绍，通过图文对照的形式对典型工艺进行介绍，然后把这些工艺技术应用于实际工艺流程中，通过实例让读者能快速的掌握具体工艺技术的实际应用。本书旨在向从事半导体行业的朋友介绍半导体工艺技术，给业内人士提供简单易懂并且与实际应用相结合研究使用。